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高真空CVD管式炉

高真空CVD管式炉

高真空CVD管式炉

高温真空CVD管式炉是一种特殊的高真空CVD系统,是高校、科研院所、工矿企业做高温气氛烧结、气氛还原、CVD实验、CVD涂层、真空退火用的理想产品。

产品概述:
   

    高温真空CVD管式炉是一种特殊的高真空CVD系统,是高校、科研院所、工矿企业做高温气氛烧结、气氛还原、CVD实验、CVD涂层、真空退火用的理想产品。

技术参数:
套管 *双层钢制外壳,带风冷。
*炉壳<= 60℃
加工管 *材料:熔融石英管(外径80 mm X长1000 mm,带SS法兰)
工作温度 *最高加热温度:1200°C
*连续工作温度:1100°C
升温速率 升温速度:1-10°C / min
加热区长度 *总加热区:440 mm
*恒定温度 区域:150毫米(±1°C)
温度控制 * LCD触摸屏
*温度精度:±1°C
*热电偶:炉内内置K型
真空面 一对不锈钢真空法兰(气体和真空侧),带有:
*一个机械压力表(与MFC系统兼容)
*两个针阀(1/4英寸)
*一个KF-25连接器,KF-25真空截止阀,KF-25 SS真空波纹管,带橡胶O形圈的KF-25快速夹具,用于KF-25法兰的可调法兰支架(左右两侧-2个)等,用于高真空工位
高真空站结构 *最大限度。负载:顶部100磅
*高真空站控制面板(基本用于分子泵的速度和真空度): 
*内部:涡轮分子真空泵站
#涡轮泵与后备泵,干式泵和石英管之间的所有连接,接头和阀门符合KF-25连接规范的部分
真空度 6.7 * 10-3pa(在正常条件下)
气体流量控制结构 * 3个通道:
        #Controller-1:1-100 sccm
        #Controller-2:1-200 sccm
        #Controller-3:1-500 sccm
*工作电压:AC 220 V / 50 Hz
* 7英寸彩色触摸屏控件,
*包括机械压力表,针形阀,气体管道,气体混合罐,截止阀和配件等
*由316不锈钢制成
系统总功耗 5千瓦
整个系统的额定电压 AC 220 V,单相,50 Hz
定制的真空法兰,带有三个进料口,气阀和机械压力表 兼容80毫米石英管(以上系统),三个热电偶穿通管(K型TC)-仅用于石英管内恒温区的中心和两端(用于PID / TC和实际常数之间的温度校准)区域温度)。在正常过程中将不使用本机。
特征:
*由304不锈钢制成,带有双重高温硅胶O形圈。
*法兰上安装了三通,一阀和一机械表。
*穿通孔适用于带K型电缆插头的K型热电偶的1/4“ OD外径钢管。
* 1/4”的管件用于在阀上连接额外的气体入口或出口。
*组装套件将密封外径为80 mm的石英管。
K型热电偶 由3个校准热电偶测得的温度将直接显示在管式炉的LCD触摸屏上。

高真空CVD管式炉
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