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高温PECVD系统

高温PECVD系统

高温PECVD系统

高温PECVD系统(等离子增强化学气相沉积),由RF等离子源,管式炉,带气体混合罐的多通道气体流量计和高质量的机械泵组成。

产品概述:

高温PECVD系统(等离子增强化学气相沉积),由RF等离子源,管式炉,带气体混合罐的多通道气体流量计和高质量的机械泵组成。PECVD设备是理想并且价格合理的工具,用于沉积薄膜或将纳米线从气态(蒸气)生长到固态。


产品特点:

1.可用于1200°C,1400°C,1600°C的工作温度

2.热区长度,单区300、400或440毫米 

3.PID自动控制
 

标准配件:

4路质子流量计 真空系统 射频电源

质子流量计×1

真空系统×1 射频电源×1
气炼石英炉管 真空法兰 热电偶
气炼石英炉管×1 真空法兰×1 防烫罩×2
高温手套 坩埚钩 热电偶
高温手套×1 坩埚钳×1 热电偶×1
刚玉坩埚 炉塞 马弗炉中文说明书
刚玉坩埚×2 炉塞×2 中文说明书×1

技术参数:

高温PECVD系统
加热区长度 440mm(更多规格可按照客户要求定制)
正常工作温度 1100℃(可选)
最高温度 1200℃(最高可选1600℃)
温控精度 ±1℃(具有超温及断偶报警功能)
控温方式 智能化30段可编程控制(用户可选配液晶触摸屏显示)
真空系统
高真空分子泵组,高真空复合真空计 前级泵2升每秒,分子泵600升每秒 采用KF25系列波纹管和真空挡板阀连接
质子流量计
高精度质量流量计可准确的控制气体流量 气体流量范围为0-500SCCm 误差为0.02% 出气真空压力表,内置气体混气系统, 不锈钢针阀计管道,标准双卡套接头
射频电源系统
输出功率 50-500W最大可调±1%
RF频率 13.56MHz,稳定性±0.005%
冷却 风冷
输入功率 1KW AC 220V
电气认证 CE认证
售后服务 12个月质保、终身保修
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